1.1 Atomic Absorption Spectroscopy (AAS)

ใช้วิเคราะห์หาค่าของโลหะต่างๆ เช่น แพลเลเดียม, แพลทินัม, รูทิเนียม, ทองแดง, นิกเกิล, เหล็ก, โคบอลต์, ดีบุก, สังกะสี, แมงกานีส, แคดเมียม, ตะกั่ว เป็นต้น สามารถวัดค่าความบริสุทธิ์ของโลหะได้ถึงระดับ ppm (part per million)

1.2 Inductively Couple Plasma Optical Emission Spectroscopy (ICP-OES)

ใช้วิเคราะห์หาความบริสุทธิ์ของโลหะมีค่าอย่างละเอียด มีความถูกต้องแม่นยำสูง เช่น วิเคราะห์หาปริมาณทอง ปริมาณนิกเกิลใน เนื้อเงิน หรือองค์ประกอบของโลหะทั้งหมด สามารถวัดค่าความบริสุทธิ์ของโลหะได้ถึงระดับ ppb (part per billion)

1.3 X-Ray Fluorescence

X-Ray Fluorescence Spectrometry หรือ XRF เป็นเทคนิคที่ใช้ในการหาชนิดและปริมาณของธาตุในสารตัวอย่างทั้งที่เป็นของแข็ง ของเหลวและสารแขวนลอยได้ เทคนิค XRF อาศัยหลักการของการที่เมื่อรังสี X ที่มีพลังงานสูงไปกระทบชิ้นงานทำให้ชิ้นงานเกิดการปล่อยโฟตอนออกมา (fluoresced) เนื่องจากโฟตอนที่ถูกปล่อยออกมากจากธาตุต่างชนิด ในชิ้นงานจะมีความยาวคลื่น(พลังงาน) เฉพาะสำหรับธาตุนั้นๆ จึงทำให้สามารถบ่งชี้ชนิดของธาตุที่มีอยู่ในตัวอย่างได้ ทั้งนี้ปริมาณโฟตอนเปล่งออกมาขึ้นอยู่กับปริมาณของธาตุนั้น ในสารตัวอย่างข้อมูลนี้จึงสามารถนำมาวิเคราะห์หาปริมาณของธาตุแต่ละชนิด หรือ วัดค่าความบริสุทธิ์ แต่วิเคราะห์ได้เฉพาะส่วนประกอบบริเวณพื้นผิวนอกของชิ้นงานความลึกไม่เกิน 100 ไมครอน ค่าที่ได้ขึ้นอยู่กับลักษณะของพื้นผิว รูปร่างของวัตถุ และตัวอย่างมาตรฐานที่ใช้ในการปรับเทียบ มีความแม่นยำ รวดเร็ว ไม่มีการสูญเสียเนื้อของตัวอย่าง